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第15章 搞科研的难（第1页）

两分钟后，

随着仿真视频里的内容不断的深入，光刻机里面的一些细小运作全部都呈现在了电脑屏幕当中。

“高总您看，这个光刻机里面的激光似乎不像奶牛国光刻机内部的走向！”

“奶牛国为了提供更短的波长光源，运用极紫外光源。”

“在光刻的时候，利用二氧化碳激光照射到锡等靶材上面，激发出13.5纳米的光子，作为光刻机的光源。”

“而这上面标注的是，利用寻常紫外光源，通过在真空中发射超长紫外光，激发出5纳米的光子，作为光刻机的光源。”

钱磊一边看着视频一边解释着。

这种概念是前所未有的。

因为在人们的印象当中，超紫外光源一直都是高精度光刻机所需要的，寻常紫外光源根本就达不到那样的精度。

因为紫外光源是UV光刻机才会用到的，无论是精度还是性能和EUV还是有非常大的差距。

而且，波长越短，对于芯片精度把握是越高的，成品率也是越高的。

波长越长，成品率就越差。

但是，当他们往后面看的时候，再一次被画面震惊到了。

从仿真视频的内部来看，这完全和EUV光刻机的内部不同。

他是有很多反射的超高精度的镜片，而且这种镜片国内是完全可以自主生产的。

“我明白了，他们是想要利用这些超高精度的镜片，将超长紫外光源反射成更短的光源。”

“经过镜面的反射，只需要发射一次就可以完成光刻，这个想法是多么的逆天啊！”

钱磊作为工科专业生，对于一些概念理解还算深透。